リソグラフィ技術

リソグラフィ技術 . 図1に 今までulsi加 工に用いられてきたリ ソグラフィー技術と将来の候補技術を示す.こ の 歩んできた。その原動力になっているのが,リ ソグラフィ 技術すなわち微細パタン形成技術である。 現在,lsiの 生産に用いられているリソグラフィ技術は 紫外線を光...

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